晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案，基于我司自主研發(fā)的激光自動聚焦、自動化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發(fā)光和拉曼光譜等核心測試技術(shù)，聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測量技術(shù)，定制化的半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案。獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù)，到位錯、層錯等缺陷，再到發(fā)光波長、壽命、載流子濃度、組分和應(yīng)力等物理參數(shù)的綜合測試系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-07-11

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2378

產(chǎn)品咨詢 13810146393

產(chǎn)品分類Product Categories

相關(guān)文章Related Articles

什么是量子效率測試儀？如何使用它？

2023-04-25
基于高光譜成像技術(shù)的水果農(nóng)藥殘留檢測研究

2017-08-10
單色儀正確操作方法以及萬一遇到故障的解決辦法分析

2020-11-16
卓立漢光光譜儀-在膜厚控制中的應(yīng)用

2022-09-06
光學(xué)平臺綜合介紹

2024-03-06

詳細(xì)介紹在線留言

全晶圓半導(dǎo)體參數(shù)非接觸測試解決方案

Full-wafer Noncontac Measuring Solutions forSemiconductor Parameters

基于我公司自主研發(fā)的激光自動聚焦、自動化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發(fā)光光譜和共焦拉曼光譜等核心測試技術(shù)和模組，聯(lián)合白光干涉等其它 3D 測量技術(shù)，根據(jù)客戶的需求靈活組合相應(yīng)的技術(shù)搭配，為客戶開發(fā)定制化的半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案，獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數(shù)，到位錯、層錯等缺陷，再到發(fā)光波長、壽命、載流子濃度、組分和應(yīng)力等物理參數(shù)的綜合測量，實現(xiàn)無需任何前處理的全晶圓無損自動化檢測。

晶圓缺陷參數(shù)檢測 : 非接觸測試解決方案